原子力显微镜装置和方法
 
US14412831  2013-7-5  发明申请

2015-8-13
 
  公开了一种用于执行原子力显微镜检查的设备(100)。 该装置包括配置成在第一受控气氛(300)中操作的AFM测量单元(102)和配置成在第二受控气氛(400)中操作的预处理单元(101),第二受控气氛不同于第一受控气氛。 预处理单元连接到AFM测量单元。 在一个实施例中,第二受控气氛是真空气氛,而第一受控气氛包括至少惰性气体。
 
仿站