| 扫描探针显微镜，对准方法，记录介质和使用其的对准系统 |
| KR1020130139831 2013-11-18 发明申请 |
| 2015-5-29 |
| 本发明涉及一种探针显微镜来缓解装置的光束利用的方法直接确定的与物镜的光束通过将网，是一种反光面板，悬臂和物镜之间，a的方法，将探针显微镜的光束通过使用相同的，记录介质，和系统以自动地排列探针显微镜的光束。为了实现上述目的，提供一种探针显微镜，包括目标位置，设置在悬臂上表面端和到其中的光束为精确地测量至少一个运动位移之间，运动频率，和弯曲度；放大单元放大显示所述悬臂包括目标位置；图像显示装置显示悬臂，由于放大的放大单元，作为图像；和屏幕安装在悬臂的垂直上方，和形成，使入射光束的位置显示的图像显示部作为图像。从而，作为精密光学梁精确布置在悬臂的上表面，提高探针显微镜的精度和分析结果的误差最小化。 版权kipo2015 |
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