一种扫描电镜样品台
 
CN201420542286.1  2014-9-19  实用新型

2015-1-7
 
  本实用新型公开了一种扫描电镜样品台,所述样品台上设于至少一对竖直凹槽和一对倾斜凹槽;所述竖直凹槽的槽壁上设有螺孔,螺孔内设有配合的顶丝;所述一对倾斜凹槽对称设于样品台的两侧,倾斜凹槽与样品台的夹角为20~40度。本实用新型在样品台上设置竖直凹槽和倾斜凹槽,采用竖直凹槽将待测样品固定在凹槽内,便于样品截面的垂直观察;采用倾斜凹槽进行样品截面和表面的多角度观察;从而实现了大角度的视野范围内的检测,方便观察更多的测试细节。
 
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