| 在透射电子显微镜中对准无特征的薄膜 |
| US14878513 2015-10-8 发明申请 |
| 2016-4-14 |
| 在制备无空穴相板(HFPP)时,最好在TEM的衍射平面或与其共轭的平面中高精度地放置无特征的薄膜。 描述了在所述平面中精确放置薄膜的两种方法。 一种方法是在透射电子显微镜处于成像模式时使用薄膜的罗盘图,并且调整罗盘图的放大率,使得罗盘图中间的放大率是无限的。 第二种方法是在透射电子显微镜处于衍射模式时利用薄膜散射的电子。 当薄膜与衍射平面不重合时,被薄膜散射的电子似乎来自于零光束交叉之外的另一个位置。 这是观察到的一个光环。 没有光晕证明薄膜与衍射平面重合。 |