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图像形成光学系统，照明装置，以及显微镜装置

WOJP15077973 2015-10-1 发明申请

2016-4-14

本发明的目的是提供一种图像形成光学系统，其中 : 避免了出现划痕，异物，缺陷，等，光学元件被叠加到中间图像，即使配合的位置中形成中间图像光学元件；并可稳定地获取清晰的最终图像，即使存在制造误差中继光学系统中。该图像形成光学系统设置有 : 光源(11)；照明光学系统(12)待观测物品(A)照射照明光从光源 (11)；图像形成光学系统(13)的光会聚从物品(A)被观察；和图像捕获器件(光检测器)(14)，其获取通过成像会聚的光的图像的图像形成光学系统(13)。所述图像形成光学系统(13)具备 : 多个成像透镜(2)， (3)形成最终图像(I)和至少一个中间图像(Ⅱ)；一种第一相调制元件(5)设置成向一物体(O)的比任何中间图像的 (ii)由所述图像形成透镜(2)， (3)之间，并将空间失真施加给所述从物体(O)的光的波前；和第二相调制元件(6)，其设置在中间的位置的至少一个夹图像(II)与第一相调制元件(5)和抵消空间失真施加第一相位调制元件(5)的光的波从物体(O)。所述图像形成光学系统 (13)具有的光学放大率调节单元(81)，用于调节光学放大与相对于所述图像形成之间的关系第一和第二相调制元件。