| 一对相位调制元件的图像形成光学系统，成像光学系统，照明装置，以及显微镜装置 |
| WOJP15078598 2015-10-8 发明申请 |
| 2016-4-14 |
| 本发明的目的是提供相位调制元件的图像形成光学系统， 可获取清晰的最终图像，通过防止划痕， 异物， 缺陷， 等， 光学元件被叠加到中间图像， 即使配合的位置中形成中间图像光学元件。 该图像形成光学系统设置有 : 光源(11)； 照明光学系统(12)待观测物品(A)照射照明光从光源 (11)； 图像形成光学系统(13)的光会聚从物品(A)被观察； 和图像捕获器件(光检测器)(14)，其获取通过成像会聚的光的图像由图像形成 光学系统(13)。 所述图像形成光学系统(13)具备 : 多个成像透镜(2)， (3)形成最终图像(I)和至少一个中间图像(Ⅱ)； 一种第一相调制元件(5)设置成向一物体(O)的比任何中间图像的 (ii)由所述图像形成透镜(2)， (3)之间，并将空间失真施加给所述从物体(O)的光的波前； 和第二相调制元件(6)，其设置在至少一个中间图像位置夹 (ii)在一起与第一相调制元件(5)和抵消空间失真施加第一相调制 元件(5)的光的波从物体(O)。所述图像形成光学系统(13)具有 一种特征，其中，空间失真和抵消所述变形调整或增加的相对于 位相调制元件。 |
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