| 图像形成光学系统，照明装置，以及显微镜装置 |
| WOJP15078760 2015-10-9 发明申请 |
| 2016-4-14 |
| 本发明的目的是防止划痕， 异物， 缺陷， 等， 光学元件被叠加到中间图像， 即使配合的位置中形成中间图像光学元件。 该显微镜装置具备 : 光源； 照明光学系统，照射待观察的制品与照明光； 图像形成光学系统的光会聚从物品进行观察， 和图像捕获器件(光检测器)冷凝的图像光。 图像形成光学系统设置与图像形成光学系统(1)，其具备 : 多个成像透镜(2)， (3)形成最终图像(I)和一个或多个中间图像(Ⅱ)； 一种第一相调制元件(5)设置成向一物体(O)的比任何中间图像的 (II)和赋予空间失真施加给所述从物体(O)的光的波前； 和第二相调制元件(6)，其设置在位置夹持一个或多个中间图像， (ii)在一起与第一相调制元件(5)和抵消空间失真施加第一相调制 元件(5)的从物体(O)的光的波前。 所述图像形成透镜被配置为在方式，以满足herschel的情况。 |
微信公众号