| 扫描探针显微镜具有降低的Q因子， |
| WONL15050699 2015-10-5 发明申请 |
| 2016-4-14 |
| 扫描探针显微镜上设置包括扫描探头(10)， 保持器(5)，用于保持样品(smp)环境中无液体。 扫描装置(20)在其中提供的用于诱导的相对运动扫描探头(10)相对于 所述样品沿样品表面(smp)(SMP)。 驱动器(30)生成的驱动信号(Sd)中感应振荡运动的扫描探头(10)相对于 待扫描样品表面。 测量单元(40)测量偏转的扫描探头(10)， 提供了一种偏转信号(Sδ)指示所述偏转。 幅度检测器(50)检测振荡运动的振幅如由所述偏转信号(Sδ)并提供 振幅信号(Sa)表示的振幅。 扫描探针(10)至少部分地布置在液体(L)以阻尼它们的运动所述扫描探头， 和具有品质因子Q小于或等于5。 扫描探针(10)容纳在壳体(90)包括所述液体(L)， 扫描探针(10)包括柔性载体(11)， 柔性载体具有可移动部设有尖端(12)， 其尖端(12)延伸穿过开口(91)在所述壳体中。 |
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