| 光源生成薄，分激发光源装置，和薄膜的制造方法源，产生一光学显微镜 |
| JP2014178249 2014-9-2 发明申请 |
| 2016-4-11 |
| 要解决的问题 : 通过电子束对样品的损伤抑制，所观察到的图像的S/N比，进一步的劣化，空间分辨率源生成薄，小光源激发装置，光学显微镜，和提供一种薄膜发生源的制造方法。方法 : 所述源产生的薄膜(50)，(52)和基板，基板(52)，其形成在通孔(60)和，在第第一主表面的基板(52)(60)1以覆盖通孔，和厚度小于可见光的波长在同一时间，第一主表面的基板(52)的1和2从相反侧的第第一主表面侧的通孔(60)通过电子束EB照射通过可见光的波长源LS小于大小分的激发和发光薄膜(56)，(56)形成在发光薄，小光源LS和将光从金属薄膜(58)和电子束EB，设置。选择的绘图 : 图。2 |
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