| 光学轴方向上进行扫描式显微镜装置 |
| WOJP15078100 2015-10-2 发明申请 |
| 2016-4-7 |
| 本发明的目的是得到清晰的最终图像通过，防止刮伤， 异物， 缺陷， 等在光学元件被叠加到中间图像， 即使中间图像重合的位置处形成与光学元件。 该光学轴方向上进行扫描式显微镜装置10设有 : 光源11； 照明光学系统12，其投射照明光从光源11到观察对象物； 图像形成光学系统(13)是会聚的光从观察对象物； 图像捕捉元件(光检测器)14，其捕获聚光的光的图像形成光学系统(13)， 从而获得图像。 另外， 如下提供 : 多个图像形成透镜2， 3是形成最终图像I和至少一个中间图像II； 一种第一相调制元件5，其设置更向对象(O)侧比任何的中间体 影像II形成的图像形成透镜2， 3，和赋予空间干扰光的波前从对象(O)； 和第二相调制元件6，其设置的位置处，使得至少一个中间图像的 II介于第二相调制元件和第一相调制元件5， 并且取消了空间扰动施加到波前从物体(O)的光的第一 相位调制元件5。 |
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