| 一种射频探针原子力显微镜系统 |
| CN201610032646.7 2016-1-18 发明申请 |
| 2016-4-6 |
| 本发明涉及一种利用射频探针高速扫描样品表面的方法，以及基于该方法搭建的一种原子力显微系统。该系统包括射频探针(1)、射频谐振电路(2)、射频读出电路(3)、石英音叉探测器(4)、音叉调控电路(5)、XYZ三维样品台(6)、原子力显微镜控制器(7)及其他电学仪器设备，如射频信号发生器、前置放大器、万用表等(8)。将射频探针与石英音叉探测器组装，通过石英音叉探测器的信号进行反馈，控制针尖和样品之间的间距。将探针上的射频传输线与射频谐振电路上的电感连接形成LC射频谐振电路，利用射频谐振电路对电抗(容抗和阻抗)的敏感特性，当探针针尖在样品表面逐点扫描时，将会引起谐振电路谐振频率的变化，利用此谐振频率作为反馈信号，从而实现样品表面形貌成像。 |
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