| 相位调制装置和激光显微镜 |
| WOJP15067914 2015-6-22 发明申请 |
| 2016-3-31 |
| 相位调制装置3具有第一相位调制元件11是相位调制的光束根据电压施加到每个的多个第一电极，形成以施加，所述光束，相位调制的具有反向极性的量的相位分布的按照第一的比例第二像差成分到第一波前像差的像差成分所引起的光学系统，包括物镜4，第第二相位调制元件12，相位调制的光束根据施加的电压每个形成多个第二电极，以施加，所述光束，相位调制量的的具有反向极性的相位分布，根据第二比为第二像差成分第一像差成分，和控制电路13控制电压施加到所述多个第一电极和所述多个第二电极根据距离物镜到集光光束的位置。 |
微信公众号