| 能判别电子检测器和扫描电子显微镜在同一种使用 |
| WOJP15076404 2015-9-17 发明申请 |
| 2016-3-31 |
| 当电极(29)，尤其，一种格栅，负电压应用于安装在前的物镜(23)，低能量二次电子之间电子的(25)从样品(24)产生的电子束，等，通过电极反射并入射在检测器(22)安装在样品(24)的侧面。然而，高的能量电子由电极和不反射，并因此由检测器没有检测到。本发明使得可以进行二次识别的电子能量，只检测低能量侧。因此，可以获得检测信号包括，例如，丰富的数据在样品表面状态。 |
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