| 用于原子力显微镜测量方法 |
| KR1020150115182 2015-8-17 发明授权 |
| 2016-3-24 |
| 所述探针扫描样品表面和所述表面的原子力显微镜测量样品的测量特性的方法. 所述振动检测所述探针在样品表面移动所述探头. 所述的探头利用所述样品的所述表面的运动的变化来获得信息. 样品使用与所述探针的所述表面信息,控制所述测量的原子力显微镜,其包括提供方法. 在一个示例. 所述样品表面的面位置信息可包括下降系统. 在一个示例. 所述探测所述样品表面在所述探头,所述探头扫描方向的振动,且所述样品绕轴线垂直于高度方向的一种diarylaminosilane. 一种triarylaminosilane. 一种循环可包括 : . |