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一种制作原子力显微镜探针的方法配置

JP2009140201 2009-6-11 发明授权

2016-3-22

原子力显微镜探针结构(6)的方法，它包括悬臂(8)，和平坦的端部(19)附接到所述悬臂(8)，它仅部分重叠的平坦的端部(19)，其沿纵长方向(X)延伸。所述平坦的端部(19)的二维几何结构具有至少一个角(20)远离所述悬臂(8)汇合，该角部(20)在使用中接触表面(18)进行扫描。