| 扫描探针显微镜 |
| JP2014156041 2014-7-31 发明申请 |
| 2016-3-10 |
| 要解决的问题 : 扫描仪或样品表面与水平运动机构的扫描方向可平行设置 提供一种扫描探针显微镜。 方法 : 探头32a和具有在悬臂的自由端32， XYZ悬臂32的方向移动的移动机构(34)，并设置有头 部分30， 所述悬臂的自由端32，用于检测位移在Z方向和位移测量 部分40， 样本S，放置和样品台12具有安装表面， 微调机构34， 在控制位移测量部分40通过检测位移， 样品S的测量范围的控制部(51)和表面设置有扫描式探头 显微镜1， 头部30到样品台的安装面12倾斜和粗调机构20 设置。 选择的绘图 : 图。 3 |
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