| 电子显微镜载物台与6轴运动使用SEM级 |
| KR1020140179137 2014-12-12 发明授权 |
| 2016-3-10 |
| 本发明涉及PDA电子显微镜(SEM)部存储所接收的数据，利用(tem)透射电镜样品台扫描电子显微镜SEM以及第一. (stem)第二和第三利用透射电镜第一和第二分路器/第6轴的驱动电路和电子涉及一种显微镜载物台. 包括一个致动器或多个蓄热空槽栅与传动柱塞形成的样品支架. 所述样品支架装在支撑板上并通知访客的样品分析物包括. SEM或以一角度在样品台的上表面减少了梗头烟口，6排多重功能轴驱动的电子显微镜台是一种. |
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