| 紧凑检查装置包括扫描电子显微镜和光学显微镜 |
| WONL15050616 2015-9-4 发明申请 |
| 2016-3-10 |
| 本发明涉及一种检查装置包括扫描电子显微镜(SEM， 201)和光学显微镜(202)。 该SEM包括第一室(211)，包括光源(203)，用于发射初级电子束， 电子光学柱，包括透镜，用以聚焦电子束到样品(222)在样品架上， 和电子检测器(208)，用于检测电子从样品。 所述检查装置还包括第二室(214)，其包括样品架。第二室活动连接 第一室，用于移动样品架相对于SEM。进行成像， 有一第一和第二腔室之间的开口连接与SEM样品观察。该 光学显微镜包括集光装置收集来自样品， 和光检测器，用于检测光从样品。 所述集光装置内设置有第二腔室。 |
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