| 扫描电子显微镜检查方法和检查样品 |
| WOUS15047307 2015-8-28 发明申请 |
| 2016-3-3 |
| 扫描电子显微镜包括一个多像素固态电子检测器。多像素固态检测器可检测背散射和/或二次电子。多像素固态检测器可以包括模拟-数字转换器等电路。多像素固态检测器可以是能够近似地确定入射电子的能量和/或可以含有电路用于处理和/或分析电子信号。所述多像素固态检测器适用于高速操作，例如在大约100的速度100MHz或更高。扫描电子显微镜可以进行审查，检查或测量样品未图案化的半导体晶片，形成图案的半导体晶片，掩膜版或光掩模。审阅或检查样品的方法还描述了。 |
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