| 三维干涉显微镜的方法 |
| EP15183770 2010-7-16 发明申请 |
| 2016-2-24 |
| 一种统计稀疏子集对试样(S)中可切换光源被激活时，和活性可切换光学源激发，从而使光学光束射从激活的可切换光源沿至少两个光路(132，142)。一种第一第一射出的光束中的波前修正从激活的可切换光学源在第一光通道被引入和第二的波前修正在第二射出的光束从激活的可切换光源沿第二引入光路，第二波前修正不同于第一的波前修正。第一和第二光束相互干涉以产生多个输出光束(152，154)和三维光源的位置信息确定基于每个输出束的强度从多个输出光束。 |
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