| 扫描探针显微镜 |
| JP2014146009 2014-7-16 发明申请 |
| 2016-2-8 |
| 要解决的问题 : 样品通过切换模式到扫描测量的稳定进行提供一种扫描显微镜。方法 : 扫描探针显微镜，和反馈控制部(15)之间的位移检测部分9，和攻牙模式被选择时在悬臂接触的时间模式被选择，并保持恒定样品的距离的基准值和对准偏移电路11，信号输出的位移量检测部(1)2第一信号和第二信号，分支到分支部分27，11，通过该第一信号和第二信号路径26，22第一信号和第二信号路径28穿过，接触模式被选择，和第二的时间反馈控制部(1)和连接至信号路径，敲模式选择在时间第二的反馈控制部(2)和连接到信号路径和开关12和，在第二信号路径2，交流信号转换成振幅成比例的信号的交流信号至直流转换器段14和，信号转换部分24。选择的绘图 : 图。1 |
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