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导电原子力显微镜及其操作方法
US14694115 2015-4-23 发明申请
2016-2-4
一种导电原子力显微镜,包括多个探针结构,每个探针结构包括探针和与其连接的悬臂, 电源供应器施加偏置电压, 电流检测器检测在样本对象和每个探针之间流动的第一电流和在测量对象和每个探针之间流动的第二电流, 以及控制器,计算由每个探针结构测量的样本对象的代表性电流之间的比率,计算用于相对于由每个探针测量的测量对象缩放代表性电流的缩放因子,并基于第二测量电流和缩放因子确定可再现的电流测量值。
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