| 测量显微镜,校正倾斜的方法 |
| JP2014139637 2014-7-7 发明申请 |
| 2016-2-1 |
| 要解决的问题 : 手动轻松样品的倾斜校正。方法 : 测量显微镜100,和旋转台203,XY载物台204,和运算部(310),显示控制部(320)。旋转台203,其平行于物镜的光轴201和具有旋转轴线,和通过手动操作转动。XY台204,旋转台203和物镜201的光轴方向垂直的预定方向中移动以线性级。算术部分310,样品S计算相对于预定方向倾斜,显示控制部(320),运算部(310)基于计算出的所述试样S的倾斜,该倾斜有关的信息的样本S,显示在显示装置400。选择的绘图 : 图。1 |