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产业专利数据

扫描探针显微镜头设计

US14805679 2015-7-22 发明申请

2016-1-28

SPM头包括探头和悬臂，探头安装在悬臂上。悬臂具有靠近悬臂的自由端的平面反射表面。悬臂从机械安装件延伸，并且单模光纤由机械安装件支撑以提供相对于反射表面偏离法线的角度的光束轴。