| 原子力显微镜的扫描与图像处理 |
| US14873839 2015-10-2 发明申请 |
| 2016-1-28 |
| 装置和相关方法，所述装置和方法考虑对以第一角度居中于第一位置的样品的第一区域执行第一原子力显微镜(AFM)扫描，以产生第一扫描图像，所述第一AFM扫描包括以第一速度的第一分量扫描和以第二速度的第二分量扫描； 以第二角度执行样品的第一区域的第二AFM扫描以产生第二扫描图像，第二AFM扫描包括以第一速度执行第三分量扫描和以第二速度执行第四分量扫描； 以及基于所述第二扫描图像校正所述第一扫描图像中的第一误差，以产生校正后的图像输出。 |
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