| 混合电子显微镜 |
| US14827666 2015-8-17 发明申请 |
| 2016-1-28 |
| 一种混合电子显微镜，包括 : 发射电子束的电子源； 一种抛物面反射镜，包括 : 反射表面； 以及用于通过抛物面反射镜传送电子束的孔； 以及样品保持器，插入在电子源和抛物面反射镜之间，使得抛物面反射镜的反射表面面对电子源和样品保持器。 一种用于获取混合电子显微镜数据的方法，包括 : 在腔室中设置抛物面反射镜，所述抛物面反射镜包括 : 反射表面； 以及使通过抛物面反射镜的电子束通信的孔； 将样品放置在样品保持器上； 在电子源和抛物面镜之间插入样品保持器，使得抛物面镜的反射表面面对电子源和样品保持器； 从电子源产生电子束； 使所述样品经受所述电子束； 通过所述样品和所述抛物面镜的孔径来传送所述电子束； 以及响应于使样品经受电子束而收集样品的成像数据以获取混合电子显微镜数据。 |
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