| 用于检查样品的方法使用一种组件，包括扫描电子显微镜和光学显微镜 |
| WONL15050528 2015-7-20 发明申请 |
| 2016-1-28 |
| 本发明涉及一种检查样品的方法与一种组件，包括扫描电子显微镜(SEM)和在光学显微镜(LM)。该组件包括样品保持器，用于保持样品。样品架设置有用于检查样品，与SEM和LM，优选在相同的时间。该方法包括步骤 : 捕获样品的LM图像在其位置与SEM成像；确定感兴趣区域的位置和尺寸，所述的样品采用LM中或上的图像；确定值来SEM参数需要设定到图像样品在期望分辨率；和捕获的SEM图像的感兴趣区域，优选使用第一电子束曝光的所述感兴趣区域。 |
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