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扫描探针显微镜头设计

WOUS15041467 2015-7-22 发明申请

2016-1-28

SPM，磁头包括一个探头(207)和悬臂(206)上的探头安装。本实用新型的悬臂平面反射表面(204)的自由端(205)附近的悬臂。悬臂伸出一种机械固定件(203)和单模光纤(202)支承的机械安装提供一种束轴(212)以一角度(210)上远离法线相对于反射面。