| 高速自适应多回路模式成像原子力显微镜 |
| WOUS15040273 2015-7-14 发明申请 |
| 2016-1-21 |
| 用于样品成像的方法使用高速动态模式原子力显微镜可以包括扫描头一种悬臂探针在样品表面，调节尖端振动的振幅保持恒定在设定点值(改成由内外)，通过第一产生的信号第一反馈控制器中，测量平均攻牙尖端的偏转，调节平均攻丝中产生的偏转通过第二信号第二反馈控制器，跟踪测量调节所测量的平均攻牙时跑偏的调节。该方法可以进一步包括生成图像形貌的样品基于第一信号，第二信号，将测得的调整平均攻的偏转的悬臂探针。 |
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