| 扫描探针显微镜物表面修饰的结合装置 |
| RU2012102492 2012-1-26 发明授权 |
| 2016-1-20 |
| 领域 : 物理，光学器件。物质 : 本发明涉及一种扫描探针显微镜用于测量样品表面的机械这种改性后得到表面。显微镜具有底座(1)，扫描器(33)安装在样品(40)的移动机构(6)，样品(40)固定在扫描器(33)，第一夹具(27)与探头(28)，适于发声的样品(6)，控制单元，适于控制所述扫描器(33)和探头(28)，和平台(18)与第一和第二导向件上的滑架(26)安装。在底座上冲头(2)与第一驱动装置(4)和样品(40)的移动机构(6)与第二驱动装置(7)安装。平台(18)固定在样品(40)的移动机构(6)。第第一夹具(27)与探头(28)安装在滑架(26)。效果 : 误差最小化的样品测定surface.11Cl，12的DWG |
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