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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

扫描机理与扫描探针显微镜

US14862538 2015-9-23 发明申请

2016-1-14

一种扫描机构，包括 : 悬臂；XY可移动部分，其可在平行于X-Y平面的X和Y方向上移动；XY致动器，其在X和Y方向上扫描XY可移动部分；Z致动器，其在垂直于X-Y平面的Z方向上扫描悬臂；以及聚光部分，其使用于检测悬臂的位移的光进入悬臂。 Z致动器和聚光部分由XY可移动部分保持并并排设置成投影到X-Y平面。