| 提高分辨率的计算扫描显微镜 |
| US14752570 2015-6-26 发明申请 |
| 2016-1-14 |
| 一种使用扫描型显微镜累积样品图像的方法, 包括以下步骤 : 将来自光源的辐射束引导通过照明器以照射样品的表面S;使用检测器来检测响应于所述照射而从样品发出的辐射通量;使所述束相对于所述表面遵循扫描路径;对于所述扫描路径中的一组样本点中的每一个, 记录作为所选测量参数P的值Pn的函数的检测器的输出Dn, 从而编译测量集M={(dn, PN)}, 其中n是整数序列的一个成员,利用计算机处理装置对测量集M进行自动解卷并对其进行空间分解以产生样本的重构图像, 其中, 在试样内的给定点π处考虑, 该方法包括以下步骤 : 在第一探测会话中, 采用第一光束配置(B1)用相关的第一点扩展函数(F1)照射点(P i), 其中 : F2在点Pi位于其中的公共重叠区域Oi中与F1部分重叠;F1和F2在Oi外部具有各自的非重叠区域F1′和F2′,使用所述计算机处理设备中的源分离算法在与所述非重叠区域F1′和F2′分开考虑的所述重叠区域Oi中执行图像重建。 |