| 一种改进的扫描探针显微镜扫描方法 |
| CN201510543658.1 2015-8-28 发明申请 |
| 2016-1-13 |
| 本发明公开了一种改进的扫描探针显微镜扫描方法，扫描探针显微镜在需要采集信号的正向扫描过程采集探针与样品的相互作用信息，而在不需要采集信号的返回扫描过程通过改进的回程空扫描控制方法，使探针与样品间的相互作用减弱或使探针与样品完全分离。本发明扫描探针显微镜在不需要采集探针与样品相互作用信息的返回扫描过程，使探针与样品间的相互作用减弱或使探针与样品完全分离，可有效减少或消除回程扫描过程中探针的无效磨损或损耗，增加了探针的使用寿命，也减少了显微镜的使用成本。本发明可广泛应用于显微技术领域。 |
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