| 校准扫描传输方法的带电粒子显微镜 |
| EP14176529 2014-7-10 发明申请 |
| 2016-1-13 |
| 校准扫描传输的方法带电粒子显微镜，包括 : 一个标本架，用于装标本；-源，用于产生一束带电粒子；-发光器，用于将所述光束以照射样品中； : 成像系统，用于定向带电粒子穿过样品到检测器上；扫描装置，用于使所述光束进行扫描运动相对于样品表面，该显微镜可以工作在 : -非扫描模式，由此所述梁相对较宽的和所述检测器形成图像而没有调用所述扫描装置；或扫描模式，由此所述梁相对窄和所述检测器而积累图像作为扫描位置的函数的所述梁，该方法包括以下步骤 : -提供一种校准样品在所述样品座；在非扫描模式，使用所述探测器，形成所述校准样品的校准图像，使用给定的配置，所述成像系统；-利用已知尺寸的所述校准样品和将其与所述校准图像中的相应尺寸校准特征尺寸的所述检测器的视场；在扫描模式中，所述光束的记录的波束图案在校准所述检测器的视场，和检查记录的光束图案导出几何方面。 |
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