| 显微镜系统，校准方法，和，高度测量方法 |
| JP2014123524 2014-6-16 发明申请 |
| 2016-1-12 |
| 要解决的问题 : 不破坏样品，易于校准扫描探针显微镜。方法 : 所述的显微镜系统100，显微装置400和计算设备700。显微镜系统400，设有光学显微镜200和spm300。所述算术单元700，光学显微镜200的高度在第二的样品S1得到的测量高度信息和，通过测量高度spm300用于校正测量引起的误差校正值的预先获取该物体的高度校正值的基础上，和高度测量spm300用于确定校正值。选择的绘图 : 图。1 |
微信公众号