| 一种暗场显微镜的反射光显微镜[…]/或 |
| DE102015212470 2015-7-3 发明申请 |
| 2016-1-7 |
| 一反射光显微镜(10；10A；10b；10c)暗场显微[…]/或具有照明装置(19；19a；19b；19c)，用于照明物平面(14)上，具有第一的照明路径，具有物镜(16)上，至少1/1光学子组件(24)和具有第一反射元件。第一反射元件(22)和第一光学组件(24)通过安装光轴层(26)连接固定，所述透镜元件(16)沿光轴(26)延伸的光束路径(27)包括，沿第一的照射光路(20)由第一反射元件(22)延伸。第一光学子组件(24)的成像的物平面(14)进入的光沿着光学轴(26)设置，其中第一反射元件(22)从物体平面(14)由检测器检测的光(44)反射在方向。照明装置(19；19a；19b；19C)具有第二的照射光路(32)上，用于第一的照射光路(20)至少部分地延伸通过光束路径中分离，(27)可移动的第二反射元件(34；34a，34b)第一之间的反射元件(22)和第第一光学组件(24)到光束路径(27)可耦合。一种晶片检查设备(11)，用于检查对象(12)具有反射光显微镜(10；10A；10b；10c)暗场显微[…]/或上。 |
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