| 原子力显微镜干燥系统及原子力显微镜 |
| US14626612 2015-2-19 发明申请 |
| 2016-1-7 |
| 一种可在根据本发明的原子力显微镜(AFM)机器中实现的干燥系统，包括具有弹性的弹性体，该弹性体设置在AFM扫描头装置和压板之间以形成腔室。 样品支撑基板设置在腔室中并用于放置样品。 气体入口管道从腔的外部延伸到腔的内部，以将干燥气体引入腔中。 气体出口管道从腔的内部延伸到腔的外部以将干燥气体排出腔。 通过引入和排出干燥气体的机理，可以将水分排出室，从而使相对湿度(RH)降低到5%以下，并且在空间中保持恒定的内部压力以变得稳定。 |
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