| 执行扫描探针显微镜检查的系统和方法在基板表面 |
| WONL15050487 2015-7-3 发明申请 |
| 2016-1-7 |
| 本发明涉及进行扫描探针显微镜的方法在基板表面使用扫描探针显微术系统，该系统包括至少一个探针头，该探针头，包括探针针尖设置在悬臂和尖端位置检测器，用于确定位置该探头尖沿Z方向横向于像平面，所述方法包括 : 定位至少一个探针头相对于衬底表面上；移动该探针尖端与衬底表面相对于彼此在一个或多个方向平行于图像平面用于扫描所述基板的表面与探针尖；和确定探针针尖的位置与尖端位置检测器的所述扫描期间用于映射上的纳米结构，所述衬底表面；其中，所述步骤的进行定位，通过将至少一个探针上的静止载体表面。 |
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