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产业专利数据

扫描电子显微镜

US14768641 2014-2-18 发明申请

2015-12-31

一种适于在非真空环境中成像样品的扫描电子显微镜，所述扫描电子显微镜包括位于保持在真空下的外壳内的电子源、设置在外壳的开口处的电子渗透膜，所述电子渗透膜将保持在真空下的外壳内的环境与不保持在真空下的外壳外的环境分开，所述电子渗透膜不接地，并且至少一个不接地电极用作电子检测器。