| 扫描探针显微镜及方法，用于检查表面与高纵横比 |
| WOEP15063291 2015-6-15 发明申请 |
| 2015-12-30 |
| 本发明涉及一种扫描探针显微镜(400)，包括 : 一种)的扫描装置(420)，用于扫描测量头(530，630，730，830，930，1030)在表面(415)；b)悬臂(540，640，740，840，940，1040)用于测量末端(530，630，730，830，930，1030)，所述悬臂(540，640，740，840，940，1040)具有扭转区域(545，645，745，845，945，1045)；c)其中，所述扭转区域(545，645，745，845，945，1045)设计成这样一种方式是，当控制信号被施加，所述扭区发生扭转，从而枢转的测量尖端(530，630，730，830，930，1030)；和d)的控制装置(480)，用于输出控制信号，如果测量头(530，630，730，830，930，1030)的区域进行扫描的表面(415)可更加准确地检查有枢接测量头(530，630，730，830，930，1030)比没有枢转的测量尖端(530，630，730，830，930，1030)。 |
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