| 显微镜系统 |
| JP2014116823 2014-6-5 发明申请 |
| 2015-12-21 |
| 要解决的问题 : 窄宽度的槽，和深度的槽深显微镜系统，其能够检测的缺陷。方法 : 显微镜系统1，通过物镜(23)照射SP生物来源试样中将同轴发射和同轴照明的照明光的部分25，或从物镜23的外侧周边，发射偏振辐射生物来源试样中将SP发出照明光照明部(26)和极化辐射，同轴照明部(25)，其设置在光路半反射镜243，同轴照明部(25)发出的照明光的偏振光分量在轴线1的方向，用于仅透过偏振器242和，围绕所述光学物镜的轴线23可转动地设置在观察侧的光路，通过物镜1的入射方向从样品反射的光的偏振光分量和发射仅分析仪244，同轴照明部(25)以及偏振辐射，照明部分26，同时点亮控制部(71)，设置。选择的绘图 : 图。1 |
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