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用于去除异物的方法通过使用扫描式探针显微镜
JP2014113075 2014-5-30 发明申请
2015-12-17
要解决的问题 : 悬臂设置在探头的尖端用于扫描物体的表面,得到表面形状相关的信息的传统扫描探针显微镜作为其上存在的物体的表面提供一种去除细小夹杂物的方法。方法 : 探头12粘接剂涂覆在表面26a,粘合剂涂层附着到探针的扫描探针显微镜,所述探头的表面上存在的对象20与倒伏的异物接触23附着到探针。选择的绘图 : 图。6
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