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透射电子显微镜微栅的制作方法
US14738950 2015-6-15 发明申请
2015-12-17
一种透射电子显微镜微栅的制作方法,包括以下步骤。 提供一种碳纳米管层,所述碳纳米管层包括彼此相对的第一表面和第二表面。 在第一表面上电镀第一金属层,在第二表面上电镀第二金属层。 通过蚀刻所述第一金属层形成多个第一通孔,并且通过蚀刻所述第二金属层形成多个第二通孔,其中所述碳纳米管层通过所述多个第一通孔和所述多个第二通孔暴露。
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