扫描电子显微镜
 
WOJP14065609  2014-6-12  发明申请

2015-12-17
 
  本发明适当地获取有关的信息的多种样品中的磁化方向变化。一种扫描电子显微镜(500)设有 : 电子束螺旋波照射单元(502),产生电子束螺旋波(503),和改变电子束的照射位置螺旋波(503)相对于样品(504)样品台(505);和控制单元(510),其控制照射位置其中,所述样品(504)被照射与电子束螺旋波(503),所述电子束螺旋波辐射从电子束螺旋波源。
 
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