扫描电子显微镜装置
 
WOJP14064800  2014-6-4  发明申请

2015-12-10
 
  现有技术中的XS-D拍摄的,有已经没有机构用于分离和检测脉冲的电流分别产生信号电子检测器处;作为结果,检测到的信息在每个电子的能量不能区分从上的信息的电子数,检测。所述用于解决该问题如下 : 计算脉冲从脉冲电流波形信号生成频率信号的电子(106)检测在检测器(108),和控制量的电子束照射到样品(105),从而分离产生的脉冲的电流。
 
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