| 紧凑型电子显微镜 |
| KR1020140059565 2014-5-19 发明申请 |
| 2015-11-30 |
| 本发明涉及一种紧凑型电子显微镜。本发明的电子显微镜的紧凑包括 : 物镜安装在一个机箱内侧；系统板安装在物镜下部形成真空缓冲用于保持真空之间的真空状态的空间内缓冲和物镜，形成有通孔，通过电子束通过，在其一侧，附有电子检测器用于检测第二电子或反射电子围绕通孔；和舞台板设置有样品板下端的一侧上形成对应的通孔，和可滑动的安装在下部分的系统板在水平方向。根据本发明，通过压实系统的尺寸和空间，在该真空状态保持，降低了制造成本，根据电镜的小型化，和使用者的操作变得容易。另外，需要的时间特异地降低维持真空状态，从而提高检查的速度。 |
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