扫描探针显微镜以及试样观察及其使用方法
 
WOJP15063159  2015-5-7  发明申请

2015-11-26
 
  本发明的目的是提供一种方法和装置用于获得纳米量级分辨率近场具有增强的光图像信号-噪声比,相反,通过显著减少背景噪声和测量重复性近场光学扫描显微镜中。本发明提供了一种扫描探针显微镜设有驱动单元,用于扫描测量探针相对于样品和用于选择和检测散射光检测系统间非弹性散射的光之间产生的散射光测量探头和通过照射样品激发光。
 
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