| 单扫描管驱动的多维压电马达及可搜索扫描探针显微镜 |
| CN201510477975.8 2015-8-3 发明申请 |
| 2015-11-25 |
| 本发明单扫描管驱动的多维压电马达，包括XZ压电扫描管、中空滑杆、弹簧片、内套管、滑片、弹簧，内套管平行地套于XZ压电扫描管内，内套管与XZ压电扫描管的一端固定，中空滑杆平行地套于内套管内，弹簧片置于中空滑杆外壁与内套管内壁之间将二者弹性相压，随着XZ压电扫描管的X形变，中空滑杆位移大的一端称为大位移端，另一端称为小位移端，滑片被穿过中空滑杆的弹簧弹性地压于中空滑杆大位移端端口，弹簧的另一端与中空滑杆小位移端固定。当XZ压电扫描管换成XYZ压电扫描管时可实现三维步进。本发明仅用单个压电管即可实现两或三维步进，结构特别简单，且对称性高，漂移小，还能实现小范围的连续扫描定位，特别适合于制作可搜索扫描探针显微镜。 |
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