| 一种无液氦低温扫描隧道显微镜 |
| CN201310682311.6 2013-12-11 发明申请 |
| 2015-6-17 |
| 本发明提供了一种无液氦低温扫描隧道显微镜。该无液氦低温扫描隧道显微镜包括：制冷机(10)，制冷机(10)包括有制冷剂循环流动管，制冷剂在制冷剂循环流动管内循环流动制冷；以及真空室(20)，连接至制冷机(10)上，并由制冷机(10)提供低温环境。该无液氦低温扫描隧道显微镜通过使制冷剂循环工作，不产生蒸发消耗就能够对扫描隧道显微镜探头进行制冷，达到所要求的低温环境，实现了无液氦消耗的效果，降低了低温扫描隧道显微镜的使用成本，并且适用于难以获得液氦的地区进行科研使用。 |
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