| 一种扫描电子显微镜用全方位辅助成像系统及方法 |
| CN201510053462.4 2015-1-31 发明申请 |
| 2015-6-17 |
| 本发明公开了一种扫描电子显微镜用全方位辅助成像系统及方法，该辅助成像系统包括安装在扫描电子显微镜的基座上的旋转对中装置和供所扫描样品放置的样品台；旋转对中装置包括平移装置和旋转机构，样品台固定在平移装置上；样品与水平转轴呈平行布设；其辅助成像方法包括步骤：一、样品固定；二、样品旋转及成像位置确定，过程如下：样品初始成像位置确定、第一次顺时针转动及样品成像位置确定、逆时针转动及样品成像位置确定和第二次顺时针转动；三、成像位置对比；四、样品平移；五、样品360°转动与全方位成像。本发明设计合理、实现方便且使用效果好，能解决现有扫描电子显微镜存在的观察范围有限、不能对样品进行全方位观察的问题。 |
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